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기본 정보
HST(GS)-50X-0B 고정밀 모터 X 스테이지(글라스 스케일)
상품요약정보 - 고분해능 소형 리니어 인코더를 내장한 자동 스테이지를 전용 컨트롤러로 제어하는 풀 클로즈드 루프 제어 시스템입니다.
판매가 6,344,800원
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특징
- 고분해능 소형 리니어 인코더를 내장한 자동 스테이지를 전용 컨트롤러로 제어하는 풀 클로즈드 루프 제어 시스템입니다.
- 리니어 인코더 신호의 피드백과 마이크로 스텝 구동을 통해 이송 나사 기구 특유의 리드 오차를 최소화할 수 있습니다.
- 선팽창 계수가 작은 유리 스케일을 적용함으로써 주위 환경의 변동에도 안정적인 신뢰성 높은 위치 결정 시스템을 실현할 수 있습니다.
- 서브미크론에서의 정확한 위치 결정이 필요한 용도나 온도 드리프트에 의한 재현성의 영향을 받는 장시간 구동 용도 등에 매우 적합합니다.
- 유리 스케일의 이론 분해능은 0.05μm로 설정되어 있고,  카탈로그  이외의 분해능을 희망하시는 경우는, 문의 주시길 바랍니다.
- HST(GS) 시리즈를 클로즈드 루프 제어로 구동시에는 컨트롤러의 모터 분할수 설정을 100 이상(펄스당 이동량 0.05μm 이하) 권장합니다.
상세 사양
 
MAX Speed10mm/sec
Stage MaterialSteel
Sensor Part NumberMicro photo sensor : GP1S092HCPIF(Sharp Corporation)
Stage Size165×165mm
Backlash1μm
Pitch15″
Moment Stiffness / Pitch0.01″/Ncm
Moment Stiffness / Yaw0.01″/Ncm
Moment Stiffness / Roll0.005″/Ncm
Yaw15″
Limit SensorEquipped (NORMAL CLOSE)
Lost Motion0.5μm
Positioning Accuracy3μm
Positioning SlideCrossed roller
Travel50mm
Running Parallelism10μm
Proximity Origin SensorEquipped (NORMAL OPEN)
Positional Repeatability0.5μm
Origin SensorEquipped (NORMAL OPEN)
Weight8.8kg
Feed ScrewBall screw diameter φ10mm, 2mm lead
Load Capacity392N(40.0kgf)
Resolution (Full)4μm/pulse
Resolution (Half)2μm/pulse
Parallelism50μm
Sensor / Output LogicWhen shaded: Output transistor OFF (no conduction):Limit Sensor
When shaded: Output transistor ON (conduction): Origin sensor,Proximity Origin Sensor
Sensor / Current Consumption80mA or lower (20mA or lower per sensor)
Sensor / Control OutputNPN open collector output DC30V or lower, 50mA or lower
Sensor / Power VoltageDC5~24V±10%
Motor / Motor Step Angle0.72°
Motor / Motor Type5-phase stepping motor 1.4A/phase (Oriental Motor Co., Ltd.)
Motor / Motor Part NumberPKP544N18B(□42mm)
Type of AxisX Axis
Compatible ControllerSHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-MHIT-SH

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